| Общий коэффициент увеличения | 54x–17,280x |
| Поле обзора | 16 мкм–5,120 мкм |
| Оптическая система | Лазерный сканирующий конфокальный микроскоп отражательного типа |
| Фотодетектор | Лазер: Фотоумножитель (2 канала); Цвет: Цветная CMOS-камера |
| Разрешение экрана | 0,5 нм |
| Динамический диапазон | 16 бит |
| Воспроизводимость σn-1*1 *2 *5 | 5X: 0,45 мкм, 10X: 0,1 мкм, 20X: 0,03 мкм, 50X: 0,012 мкм, 100X: 0,012 мкм |
| Погрешность *1 *3 *5 | 0,15+L/100 мкм (L: измеряемая длина [мкм]) |
| Погрешность сшитого изображения *1 *3 *5 | 10X: 5.0+L/100мкм, 20X или выше: 1.0+L/100мкм (L: Длина сшивки [мкм]) |
| Помехи при измерении (Sq) *1 *4 *5 | 1 нм (Тип) |
| Разрешение экрана | 1 нм |
| Воспроизводимость 3σn-1 *1 *2 *5 | 5X: 0,4 мкм, 10X: 0,2 мкм, 20X: 0.05 мкм, 50X: 0,04 мкм, 100X: 0,02 мкм |
| Погрешность *1 *3 *5 | Значение измерения +/- 1,5 % |
| Погрешность сшитого изображения *1 *3 *5 | 10X: 24+0,5L мкм, 20X: 15+0,5L мкм, 50X: 9+0,5L мкм, 100X: 7+0,5L мкм (L: Длина сшивки [мм]) |
| Макс. количество точек измерения в одном измерении | 4096 × 4096 пикселей |
| Макс. количество точек измерения | 36 мегапикселей |
| Модуль измерения длины | NA |
| Рабочий диапазон | 300 × 300 мм Моториз. |
| Макс. высота образца | 30 мм |
| Длина волны | 405 нм |
| Макс. выходная мощность | 0,95 мВт |
| Класс лазера | Класс 2 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014) |
| Источник цветного света | Белый светодиод |
| Электропитание | 278 Вт |
| Корпус микроскопа | Прибл. 50 кг |
| Блок управления | Прибл. 12 кг |
Созданный для анализа отказов и исследований в области материаловедения, лазерный микроскоп OLS5100 сочетает в себе исключительную точность измерений, превосходные оптические характеристики и «умные» функции, оптимизирующие рабочий процесс. Точное измерение формы и шероховатости поверхности на субмикронном уровне упрощает рабочий процесс и гарантирует достоверность данных.
