| Тип микроскопа | настольный сканирующий |
| Тип образцов | влажные, металлы, микроэлектроника, минералы, непроводящие |
| Разрешение от, нм | 14 |
| Разрешение до, нм | 30 |
| Область сканирования от, мм | 0 |
| Область сканирования до, мм | 100 |
| Оптическая камера | увеличение 3 х — 16 х, цветная |
| Цифровой зум | до 12х |
| Загрузка образца | оптическое изображение через 5 секунд после загрузки, электронное изображение — через 60 секунд |
| Вместимость предметного столика | стандартно: 36 образцов диаметром 12 мм; образец до 100×100 мм, высотой до 45 мм; опционально: образец 100×100 мм, высотой до 65 мм; держатели для наклона, поворота, растяжения, сжатия |
| Рабочая камера | нет |
| Детекторы | высокочувствительный сегментированный на четыре квадранта детектор обратно рассеянных электронов (композиционный и топографический режимы); детектор вторичных электронов |
| Вакуумная система | держатель для образца является вакуумной камерой; вакуум достигается за счет мембранного вакуумного насоса |
| Дополнительные аналитические возможности | энергодисперсионный микроанализатор (кремниевый дрейфовый детектор), термическое охлаждение без жидкого азота; столик для испытаний на растяжение/сжатие, нагрузка до 1000 Н, перемещение до 10мм, в комплексе с специализированным ПО |
| Управление системой | интерфейс на базе ПО Phenom; монитор 19″, поворотно-нажимная кнопка управления; доп. монитор, клавиатура, мышь, для управления программным комплексом для микроанализа |
| Формат изображения | JPEG, TIFF, BMP |
| Размер изображения | 456х456, 684х684, 1024х1024, 2048х2048 |
| Доступные программные функции | Программный модуль Pro Sute |
Phenom XL — настольный сканирующий электронный микроскоп с большим столом (ход стола до 100×100 мм). Максимальное увеличение 100 000х; разрешение 14 нм; ускоряющее напряжение 5, 10, 15 кВ (опционально до 20 кВ).
Как и остальные модели, эта версия отличается простотой в использовании и высокой скоростью работы. Уже через 30 секунд после загрузки образца можно получить изображение с высоким разрешением.
