| Тип микроскопа |
сканирующий |
| Тип образцов |
влажные, магнитные, металлы, микроэлектроника, минералы, непроводящие |
| Разрешение от, нм |
0.8 |
| Разрешение до, нм |
2.9 |
| Область сканирования от, мм |
0 |
| Область сканирования до, мм |
110 |
| Источник полевой эмиссии |
высокостабильный источник полевой эмиссии Шоттки обеспечивает стабильные высокие токи в сочетании с высокой разрешающей способностью |
| Комбинированная конечная линза |
сочетание электростатического поля, безполевого магнитного и иммерсионной магнитной объективной линзы |
| Угол объективной линзы |
60° |
| Очистка диафрагм |
автоматическая за счёт подогрева |
| Функция замедления пучка |
с диапазоном от −4000 В до +600 В |
| Технология отклонения пучка |
двухступенчатая |
| Гарантированное время жизни источника |
12 месяцев |
| Характеристики электронной пушки |
доступны режимы высокого вакуума с оптимальной рабочей дистанцией (иммерсионный режим либо режим без поля), а также режим низкого вакуума, с оптимальной рабочей дистанцией, без поля |
| Предметный столик |
вцентрический гониометрический высокоточный моторизованный по 5 осям предметный столик |
| Перемещение в плоскости XY |
110 x 110 мм |
| Воспроизводимость результатов |
< 3,0 мкм (при наклоне 0°) |
| Моторизованное перемещение по оси Z |
65 мм |
| Поворот |
n x 360° |
| Наклон |
-15° / +90° |
| Максимальная высота образца |
расстояние 85 мм до точки Вцентрика |
| Максимальный вес образца |
500 г при любом положении предметного столика (до 2 кг при наклоне 0°) |
| Максимальный размер образца |
Ø122 мм при полном вращении (для образцов большего размера вращение ограничено) |
| Стол-держатель |
возможна установка на который можно установить до 18 стандартных столиков образцов (диам. 12 мм), 3 скошенных стойки, образцы поперечных сечений и 2 наклонных многостоечных держателей* (38° и 90°) |
| Внутренняя ширина рабочей камеры |
340 мм |
| Аналитическая рабочая дистанция |
10 мм |
| Детекторы |
тройная система детектирования (внутрилинзовая и внутри колонны) |
| Вакуумная система |
безмасляная |
| Наосы |
турбомолекулярный насос (1×220 л/с TMP); форвакуумный насос (1хPVP); 2 ионно-геттерных насоса |
| Уровень вакуума в камере (высокий) |
< 6,3e—6 мбар (после 72 часов откачки) |
| Время откачки |
≤ 3,5 мин |
| Давление в камере при низком вакууме |
от 10 до 500 Па |
| Система очистки образца/камеры |
система криогенной чистки FEI Cryocleaner, интегрированная система плазменной чистки FEI |
| Анализ |
EDS, EBSD, WDS, CL, Raman |
| Навигация |
навигационная камера, корреляционная навигация, программное обеспечение для сшивки MAPS |
| Газовая инжекционная система (GIS) |
до 2 устройств для осаждения следующих материалов: платина, вольфрам, углерод, манипуляторы, криостолик, электрическое зондирование, электростатическая блокировка пучка |
| Управление системой |
64-битный графический пользовательский интерфейс на базе Windows 7 |
| Время получения изображения |
0,025 — 25000 мкс/пикс |
| Размер изображения |
до 6144×4096 пикс. |
| Формат изображения |
TIFF (8, 16, 24 bit), BMP, JPEG |
| Вид изображения |
однокадровое изображение или изображение в четырёх квадрантах |
| Технология сканирования |
SmartSCAN (до 256 интегрированных изображений в одном) |
