| Тип микроскопа | сканирующий |
| Тип образцов | влажные, магнитные, металлы, микроэлектроника, минералы, непроводящие |
| Разрешение от, нм | 0.8 |
| Разрешение до, нм | 2.9 |
| Область сканирования от, мм | 0 |
| Область сканирования до, мм | 110 |
| Источник полевой эмиссии | высокостабильный источник полевой эмиссии Шоттки обеспечивает стабильные высокие токи в сочетании с высокой разрешающей способностью |
| Комбинированная конечная линза | сочетание электростатического поля, безполевого магнитного и иммерсионной магнитной объективной линзы |
| Угол объективной линзы | 60° |
| Очистка диафрагм | автоматическая за счёт подогрева |
| Функция замедления пучка | с диапазоном от −4000 В до +600 В |
| Технология отклонения пучка | двухступенчатая |
| Гарантированное время жизни источника | 12 месяцев |
| Характеристики электронной пушки | доступны режимы высокого вакуума с оптимальной рабочей дистанцией (иммерсионный режим либо режим без поля), а также режим низкого вакуума, с оптимальной рабочей дистанцией, без поля |
| Предметный столик | вцентрический гониометрический высокоточный моторизованный по 5 осям предметный столик |
| Перемещение в плоскости XY | 110 x 110 мм |
| Воспроизводимость результатов | < 3,0 мкм (при наклоне 0°) |
| Моторизованное перемещение по оси Z | 65 мм |
| Поворот | n x 360° |
| Наклон | -15° / +90° |
| Максимальная высота образца | расстояние 85 мм до точки Вцентрика |
| Максимальный вес образца | 500 г при любом положении предметного столика (до 2 кг при наклоне 0°) |
| Максимальный размер образца | Ø122 мм при полном вращении (для образцов большего размера вращение ограничено) |
| Стол-держатель | возможна установка на который можно установить до 18 стандартных столиков образцов (диам. 12 мм), 3 скошенных стойки, образцы поперечных сечений и 2 наклонных многостоечных держателей* (38° и 90°) |
| Внутренняя ширина рабочей камеры | 340 мм |
| Аналитическая рабочая дистанция | 10 мм |
| Детекторы | тройная система детектирования (внутрилинзовая и внутри колонны) |
| Вакуумная система | безмасляная |
| Наосы | турбомолекулярный насос (1×220 л/с TMP); форвакуумный насос (1хPVP); 2 ионно-геттерных насоса |
| Уровень вакуума в камере (высокий) | < 6,3e—6 мбар (после 72 часов откачки) |
| Время откачки | ≤ 3,5 мин |
| Давление в камере при низком вакууме | от 10 до 500 Па |
| Система очистки образца/камеры | система криогенной чистки FEI Cryocleaner, интегрированная система плазменной чистки FEI |
| Анализ | EDS, EBSD, WDS, CL, Raman |
| Навигация | навигационная камера, корреляционная навигация, программное обеспечение для сшивки MAPS |
| Газовая инжекционная система (GIS) | до 2 устройств для осаждения следующих материалов: платина, вольфрам, углерод, манипуляторы, криостолик, электрическое зондирование, электростатическая блокировка пучка |
| Управление системой | 64-битный графический пользовательский интерфейс на базе Windows 7 |
| Время получения изображения | 0,025 — 25000 мкс/пикс |
| Размер изображения | до 6144×4096 пикс. |
| Формат изображения | TIFF (8, 16, 24 bit), BMP, JPEG |
| Вид изображения | однокадровое изображение или изображение в четырёх квадрантах |
| Технология сканирования | SmartSCAN (до 256 интегрированных изображений в одном) |
Сканирующий электронный микроскоп THERMO FISHER SCIENTIFIC Apreo — высокопроизводительная платформа для исследования наночастиц, катализаторов, порошков и наноустройств.
